1、总体布局与功能分区
1)选址与规划
需远离交通干道、铁路等振动源,地质勘察应避开软弱土层,同时通过功能分区隔离振动源。将精密生产区与空调机房、物流通道等分离,减少振动传递。
2)流线控制
遵循“人流物流单向流动”原则,人员需经“更衣→淋浴→风淋(≥30秒)”三级净化,物料通过带紫外消毒的传递窗进入,不同洁净等级区域设置独立通道。
3)梯度布局
高洁净区(百级/千级)置于车间内侧,低洁净区(万级/十万级)靠近外围,通过缓冲间维持5Pa压差梯度,防止交叉污染。
2、洁净度控制
电子产品的制造要求具有很高的洁净度,因此洁净度控制是电子厂房设计的重要环节。设计时应根据生产工艺和产品要求,确定合理的洁净度等级,并选择合适的空气过滤器。此外,洁净度的控制还体现在人流、物流的净化措施上,如设置风淋室、洁净走廊等。
3、环境控制核心系统
1)空气净化与温湿度
百级区采用垂直/水平层流(风速0.3-0.5m/s),万级区采用乱流,换气次数≥15次/小时,均需配备HEPA/ULPA高效过滤器。
温湿度控制精度需达22±2℃、45%±5%,既满足设备运行需求,又通过湿度调节减少静电产生。
2)微振控制
结构层面采用桩基/筏板基础、浮筑楼板,必要时设置隔振沟;设备层面选用低振动机型,搭配空气弹簧隔振器等装置。
精密设备(如光刻机)需远离空调机组,管道采用柔性连接减少振动传递。
3)防静电与接地
地面、工作台铺设防静电材料(电阻值10?-10¹?Ω),人员佩戴防静电腕带,设备接地电阻≤1Ω。
禁止使用化纤制品,通过湿度维持(45%-60%)抑制静电积累。
4、配套系统设计规范
1)建筑与材料
墙面用不锈钢板或环氧树脂涂层,地面做圆弧接缝(R≥50mm),吊顶采用密封式金属彩钢板,门窗均需气密设计。
2)气体与纯水供应
高纯气体管道采用不锈钢管,焊接连接避免“盲管”,终端设高效过滤器。
纯水系统需靠近用水点,管道材质与处理工艺匹配水质等级,防止二次污染。
3)消防设计
采用无卤阻燃材料,洁净区优先使用气体灭火系统,安全通道宽度≥1.5m,应急照明不影响气流组织。
5、安全系统设计
电子厂房的安全系统设计应包括消防系统、安全疏散系统、环保系统等。应根据厂房特点和产品特性,设置相应的消防设施和疏散通道,确保在火灾等紧急情况下员工的生命安全。此外,还应设置环保设施,如废水处理系统、废弃物处理系统等,以减少对环境的影响。
6、环境保护
电子厂房的设计应充分考虑环境保护,尽可能减少能源消耗和环境污染。应选择环保建筑材料和设备,采用节能技术和绿色生产工艺,减少废弃物的产生和处理。同时,应设置相应的环保设施,如废水处理系统、废气处理系统等,以减少对环境的影响。